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 新素材事業部は、古くて新しい材料「酸化亜鉛(ZnO)」の単結晶育成の研究・製造を行っている事業部です。

 酸化亜鉛とは、その名の通り亜鉛という金属の酸化物で、古くから顔料(化粧品)、圧電素子、バリスターなど身近なものから電子部品まで使用できる優れた材料です。

 近年は、その広いバンドギャップや優れた光学特性が注目され、青色及び白色LEDやレーザーなどの光エレクトロニクスに関する研究が盛んに行われていますが、つい最近までZnO薄膜の成膜を行うための高品質のZnO単結晶基板が存在せず、なかなか研究が進みませんでした。

 東京電波では、人工水晶で培った水熱合成法の技術によって、2インチサイズを超えるZnO単結晶基板の製造に成功しています。この量産性と環境へのやさしさを併せ持つZnO単結晶基板が、新たな次世代デバイスの開発を推し進めるものと期待しています。

 
■主な用途とZnOを使用するメリット
・ZnO系成膜のホモエピキタシー用基板(UV-LED、UV-LD)
  ...完全な格子整合、高効率紫外発光デバイス

・GaN系成膜のヘテロエピキタシー用基板
  ...高い格子整合性、大型非極性(m板)基板上への成膜が可能

・放射性検出器(シンチレータ用途)
  ...消光速度の速さ(1nsec未満)

・UVセンサ
  ...高感度、長波長側に感度がなく、UV光のみを検出可能

・圧電素子
  ...大きな圧電定数、高温域まで変態点が無く、安定動作が可能

 
酸化亜鉛単結晶 2インチ基板 
 
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